Flood gun

Eine Flood Gun ist eine Elektronenkanone, die zur Neutralisierung von Ladungsansammlungen auf isolierenden Oberflächen während der Analyse verwendet wird.

Das Sputtern auf der Probenoberfläche kann bei nichtleitendem Material dafür sorgen, dass beim Beschuss des Materials mit Ionen mehr geladene Teilchen auf die Probe gebracht werden, als herausgesputtert werden. Das kann zu einem Ladungsüberschuss führen.

Eine Floodgun ist ein elektromechanisches Instrument welches im Rahmen der Mikroskopie oder in ToF-SIMS-Geräten zum Einsatz kommt. Es liefert einen stetigen Strom von Elektronen mit niedriger Energie und richtet diese auf ein gewünschtes Ziel, die sogenannte “flood area”. Floodguns fungieren meist als Sekundärelektronenkanone und dienen dabei der Ladungsneutralisierung. Diese hat eine bessere Bildqualität zum Ziel.

Eine Flood Gun ermöglicht es, hochauflösende Bilder auch von schlecht oder nicht leitenden Proben aufzunehmen. Das Ziel selbst ist also in der Regel ein Bereich auf einem Isolator oder Halbleiter, in dem eine andere Ionenkanone gerade eine positive Nettoladung hinterlassen hat.

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